本文目录一览：1、微型机电系统简介2、微型小电机的维修,维修微型小电机的方法和方法3、微型机械的制作工艺有哪些?微型机电系统简介微机电系统（MEMS）是一种集成了微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等在内的微型器件或系统。它具备重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点，随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械...